技術交流

大連凈化芯片車間的潔凈度要求

2021-12-21 技術交流

 近十多年來科學技術日新月異,對于新產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,同時對無塵凈化技術的設計和發展提出了更高的要求。萬級無塵車間在半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造等行業非常多見。電子制造業潔凈廠房的設計是一項綜合的技術,只有充分了解電子制造業潔凈廠房的設計特點,做到設計合理,才能讓電子制造產業的產品次品率降低,提高生產效率。

       電子制造業萬級無塵車間的潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控,另外該類潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內易產生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規定)【推薦使用溫濕度變送器實時監測潔凈環境的溫濕度】,這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分,由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
1、萬級電子無塵車間參數要求換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次;

2、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;

3、平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;

4、溫度:冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃;

5、濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。

6、噪聲:≤65dB(A);

7、照度:300LX;

8、新風補充量是總送風量的10%-30%。

    萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣,將室內的污染逐漸排出,來實現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,拌有回流或渦流,不同等級的凈化車間,主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現。


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